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  • 发布时间:2025-10-17

    无掩模纳米光刻机采用全新的技术路径提高加工分辨率,一举突破突衍射极限的限制,成功实现纳米尺度加工;突破了目前激光直写仅能用于有机光刻胶的现状,可以广泛应用于各种受体材料,极大地扩展了激光直写设备的应用范围。无掩模纳米光刻机(MasklessLithography,MLL)是一种利用计算机控制直接写入的技术,不需要传统的光刻掩模,能够在多种材料表面进行高精度的图案转移。它广泛应用于微电子、微机电系统(MEMS)、光学元件、纳米技术等领域。使用方法1.系统准备-安装和启动:首先确...

  • 发布时间:2025-09-19

    无掩模纳米光刻机(MasklessLithography,MLL)作为一种先进的微纳加工技术,广泛应用于半导体制造、微电子器件、光学元件的精密加工中。与传统的掩模光刻技术不同,无掩模纳米光刻机省去了光刻掩模的使用,采用了电子束或激光束直接照射光敏材料,实现高分辨率和高精度的图案转移。为了确保其最佳性能,正确的使用方法和注意事项至关重要。使用方法1.准备工作-清洁工作环境:无掩模纳米光刻机对环境要求较高,必须保持无尘和温湿度控制的工作环境。在操作之前,确保工作台面、设备表面和相...

  • 发布时间:2025-08-15

    在当今快速发展的科技领域,纳米技术作为推动各行业创新的核心力量之一,其重要性不言而喻。而在众多纳米制造技术中,无掩模纳米光刻机以其优势成为研究与工业应用中的明星设备。它不仅打破了传统光刻技术对掩模板的依赖,还大幅提升了制造灵活性与效率,为纳米尺度下的精密加工提供了全新解决方案。设备概述无掩模纳米光刻机是一种利用数字微镜器件(DMD)或其他类似技术直接生成图案并将其转移到基板上的先进设备。不同于传统的光刻工艺需要预先制作昂贵且耗时的掩模板,无掩模光刻机通过计算机辅助设计(CAD...

  • 发布时间:2025-07-18

    纳米光电子设备,如纳米激光直写系统、高分辨率光刻机等,在现代微纳制造领域中扮演着至关重要的角色。这些设备能够实现纳米级别的精细加工,广泛应用于半导体制造、光学元件生产、生物医学研究以及新材料开发等领域。然而,由于其高度复杂性和精密性,使用过程中难免会遇到各种问题和故障。本文将探讨纳米光电子设备常见的故障类型及其相应的处理方法。一、常见故障类型光源问题症状:激光输出功率下降、不稳定或失效。原因:可能是激光器老化、冷却系统故障、电源供应不稳定或光学元件污染。处理方法:首先检查冷却...

  • 发布时间:2025-04-14

    在现代纳米技术与微电子制造领域,纳米激光光刻系统作为一种高精度的加工工具,正逐渐成为推动科技进步的关键力量。它不仅能够实现亚微米乃至纳米级别的精细图案制作,还在多个高科技领域展现了广泛的应用潜力。应用领域广阔纳米激光光刻系统主要应用于半导体芯片制造、光学元件加工、生物医学研究以及新材料开发等领域。在半导体工业中,它是制造集成电路(ICs)的工具之一,能够精确地在硅片上刻画出复杂的电路图案,支持从微米级到纳米级的设计需求。对于光学元件而言,该系统可以用来生产高精度透镜、滤波器等...

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